溫度對(duì)凈化車(chē)間有哪些影響？

湖南凈化車(chē)間工程的要害作用是出示一個(gè)身心健康的衣食住行和出產(chǎn)進(jìn)程,造就一個(gè)考慮照明燈具、溫度、環(huán)境濕度、噪聲、氣體總流量、工作壓力、靜態(tài)數(shù)據(jù)和食物衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)如微震動(dòng)自然環(huán)境,使有關(guān)的服務(wù)項(xiàng)目和產(chǎn)品,以考慮我們的身心健康要求的自然環(huán)境,供給一個(gè)好的室內(nèi)空間,自然環(huán)境操縱,從而合理地進(jìn)步產(chǎn)品的達(dá)標(biāo)率,改進(jìn)和進(jìn)步服務(wù)水平的有關(guān)總體目標(biāo)。

湖南凈化車(chē)間工程的溫度濕度要害根據(jù)加工工藝規(guī)矩明確，但在考慮加工工藝規(guī)矩的標(biāo)準(zhǔn)下，要考慮到人的舒shi度。伴隨著氣體潔凈度規(guī)矩的進(jìn)步，對(duì)溫度和環(huán)境濕度的規(guī)矩愈來(lái)愈嚴(yán)苛。伴隨著出產(chǎn)加工準(zhǔn)確度的進(jìn)步，對(duì)溫度崎嶇領(lǐng)域的規(guī)矩會(huì)愈來(lái)愈小。

高環(huán)境濕度會(huì)構(gòu)成大量的難題。當(dāng)相對(duì)濕度超出55%時(shí)，冷卻循環(huán)水壁厚曝露。假定它產(chǎn)生在高精機(jī)器設(shè)備或電源電路中，就會(huì)構(gòu)成各式各樣安全事故。相對(duì)濕度通常在50%銹蝕。除此之外，當(dāng)環(huán)境濕度很高時(shí)，粘附在硅單晶表層的塵土?xí)粴怏w中的水分有機(jī)化學(xué)地粘附在表層，它是沒(méi)辦法除去的。相對(duì)濕度、粘結(jié)性越高，則越難除去，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，又因?yàn)殪o電感應(yīng)顆粒物對(duì)表層吸咐的損害，還十分簡(jiǎn)單對(duì)很多集成電路工藝構(gòu)成熱擊穿。硅單晶出產(chǎn)制作的溫度領(lǐng)域要適合。
比如，在規(guī)模性集成電路芯片構(gòu)成的光刻曝出全進(jìn)程中，夾層玻璃與硅單晶做為掩模原材料的線膨脹系數(shù)差規(guī)矩愈來(lái)愈小。直經(jīng)100um的硅單晶，溫度升高1度，就構(gòu)成了0.24um線形澎漲，因而須有±0.1度的控溫，另外規(guī)矩環(huán)境濕度值較低，因?yàn)槿肆骱怪?，?duì)產(chǎn)品將會(huì)有環(huán)境污染，十分是鈉的半導(dǎo)體材料出產(chǎn)車(chē)間，這類(lèi)出產(chǎn)車(chē)間不可超出25度。